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******有限公司8英寸功率半导体器件制造项目

西安经济技术开发区凤城十二路1号西安关中综合保税区A区龙腾101号、102号、103号、104号

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建设8英寸功率半导体器件制造项目。购置DUV紫外光刻机、氢离子注入机、Taiko背面减薄机等工艺及检测设备，建设配套动力设施，形成8英寸超结MOSFET晶圆24万片/年，IGBT晶圆36万片/年批量生产能力。

1、废气

项目酸性废气经喷淋塔处理后，由35m高排气筒排放；离子注入工艺尾气经POU净化系统（干式吸附）处理后，由35m高排气筒排放；其他工序工艺尾气经POU净化系统（干式吸附/燃烧水洗）后排入酸性废气喷淋塔处理后，由35m高排气筒排放；有机废气及有机废气处理燃烧废气依托现有沸石浓缩转轮焚烧系统处理后，由35m高排气筒排放；锅炉废气自带低氮燃烧器，锅炉废气经27m高排气筒排放。

2、废水

项目含氟废水经含氟废水处理系统处理后、有机废水经有机废水处理系统处理、研磨废水经研磨废水处理系统处理后同碱性废水、酸性废水一并依托现有中和废水系统调节 pH 值后依托出口加工区污水管网，排入西安市第四污水处理厂；生活污水依托现有化粪池处理后依托出口加工区化粪池处理后，排入西安市第四污水处理厂。

3、噪声

项目选用低噪声设备，采取合理布局、基础减振、厂房隔声等措施。

4、固废

项目生活垃圾分类收集，由环卫部门集中清运；不合格产品、废包装材料等一般固废定期外售；含氟污泥交一般固废处置单位处置；废有机溶剂、显影废液、废碱等危险废物交有资质单位处置。

该项目于2025年6月17日、2025年7月2日和2025年8月15日在网络平台环保小智官网上进行了三次公示，并于2025年7月2日和 2025年7月10日在《西北信息报》上进行了登报公示，同时在项目所在地及周边张贴公告征求意见。环评信息公示期间，建设单位与环评单位均没有收到任何形式的公众反馈意见。