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半导体晶圆核心材料生产设备关键单元项目

遂宁高新区云锦路8号

******有限公司

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******有限公司已建5000平方米生产厂房作为项目生产厂房，购置光纤激光切割机、台车式热风循环炉、辊刷去毛刺机、LAP 倒角机、除尘工作台、自动平面去毛刺机、LAP 清洗机、注塑机、LAP 披风打磨机、LAP 披风打磨机、高速精雕机、双面研磨机、双面抛光机、单面抛光机、蒸汽清洗机、旋转清洗机、超声波清洗机、超声波清洗机、千级无尘烘箱、DLC 镀膜机等设备，建设 5 条硅片双面研磨抛光载具，项目主要生产硅片研磨载具 3 万套、硅片抛光载具 1.5 万套。

******有限公司已建预处理池处理后和经自建污水处理站处理的生产废水一起进入中国西部现代物流港污水处理厂进行处理。

2、 废气:项目生产过程中注塑有机废气、清洗烘干有机废气采取集气罩+垂帘进行捕集，汇同经收集的危废暂存间废气送至一套二级活性炭吸附装置处理后由 1 根 15m 排气筒（DA001）排放。

2、噪声：基础减振加固、设密闭房间、装消音器、厂房隔声等措施。

4.固废：废活性炭、污水处理站污泥、废油、废油桶、废含油抹布及手套等危废规范暂存，委托有资质单位转运和处置。废边角料等一般固废外售。

5、土壤及地下水保护：危废暂存间、污水处理站、清洗车间重点防渗，生产车间、一般固废暂存间、原材料放置区、仓库简单防渗。