序号

设备名称

主要组件

主要配置参数

采购量

1

高真空涡轮分子泵

高真空涡轮分子泵一

分子泵进气口径不小于DN100 ISO-K，极限真空度优于1.0E-8mbar，抽速不小于： 氦气：≥250L/s、氮气：≥260L/S；氮气压缩比：＞ 1 * 1011，最大前级耐压，氮气：≥10mbar，分子泵需配备电源系统，运行方式可独立操作本地、远程启停等模式；满配整体尺寸：直径不大于260mm，高度不大于300 mm；转速≥60000rpm，安装方向：任意角度。 RS485通讯线缆。配置风冷单元，中心滤网。冷却方式：风冷或水冷。极限压强时功耗≤25w。

3

高真空涡轮分子泵二

分子泵进气口径不小于DN100 CF，极限真空度优于1.0E-9mbar，抽速不小于： 氦气：≥250L/s、氮气：≥260L/S；氮气压缩比：＞ 1 * 1011，最大前级耐压，氮气：≥10mbar，分子泵需配备电源系统，运行方式可独立操作本地、远程启停等模式；满配整体尺寸：直径不大于260mm，高度不大于300 mm；转速≥60000rpm，安装方向：任意角度。 RS485通讯线缆。配置风冷单元，中心滤网。冷却方式：风冷或水冷。极限压强时功耗≤25w。

3

高真空涡轮分子泵三

分子泵进气口径不小于DN63 CF/DN63 ISO-K，极限真空度优于1.0E-8mbar；抽速：不小于70L/s；

分子泵需配备电源系统，运行方式可独立操作本地、远程启停等模式；

安装尺寸：应满足或小于Ф115×205mm；

安装方向：任意角度。

1

高真空涡轮分子泵四

分子泵进气口径不小于DN160ISO-K，极限真空度优于1.0E-8mbar；

最大抽速：氮气：≥660 L/s；氢气：≥550L/s：氦气：≥655L/s；氩气：≥665L/s；氮气压缩比＞ 1 * 1013

分子泵需配备电源系统，运行方式可独立操作本地、远程启停等模式；配置风冷单元；

安装尺寸：应满足或小于Ф165×250mm；

安装方向：任意角度。

1

2

离子泵

离子泵一

a.类型：三级泵

b 抽速（L/s）：34 @氮气 ; 68 @ 氦气

c. 使用寿命（1.0E-6 mbar）：80,000 hours

d. 最大启动压力（mbar）：≤5x10-2

e.极限压力： ＜ 10-11

f. 进口法兰：2 3/4”CFF (CF 35)

g. 最高烘烤温度（℃）：350

f. 可远程控制

1

离子泵二

a.类型：三级泵

b.抽速（L/s）：65 @氮气; 130 @ 氦气

c.使用寿命（1.0E-6 mbar）：80,000 hours

d.最大启动压力（mbar）：≤5x10-2

e.极限压强： ＜ 10-11

f. 进口法兰：6”CFF (CF 100)

g. 最高烘烤温度（℃）：350

f. 可远程控制

1

离子泵控制器

a输入电压：100-240 Vac （ /-10%）

b输入功率：150VA

c输入直流电压:24Vdc(±10%)

d输入直流功率：70W

e输出高压电压： /- 7000Vdc /-5%

f输出最大高压功率：40W

g操作温度：0℃ 至45℃

h贮存温度：-40℃至 70℃

2

3

真空变送器

真空变送器一

第一种真空变送器：

连接法兰DN16/KF16，MEMS皮拉尼规，测量范围：大气~1E-4mbar；

测量重复性：优于2%;

操作温度：0 ℃~50 ℃

测量范围：10~1E-3mbar范围内。

6

真空变送器二

第二种真空变送器：

连接法兰DN40，冷阴极电离与MEMS-皮拉尼的全量程复合规管；

可重复性：优于±5%

操作温度：0 ℃~50 ℃

测量范围：100~1E-8mbar范围内。

6

真空变送器三

第三种真空变送器：

a.测量范围： 2.0E-11 至 1.0E-3 mbar

b.灵敏度：25 Torr-1

c.测量精度： 20%

d.烘烤温度：450℃

e.温度极限：操作温度0 ℃~250 ℃；贮存温度-15 ~80℃

f.接口尺寸：2 ?0?6”CFF (NW 35)

6

4

前级泵

涡旋干泵

抽速：不小于14.5m ?0?6/h；真空压强为：0.009mbar；真空泵水蒸气处理量为：280G/h；真空泵噪音等级小于55DB；真空泵入口连接：DN25ISO-KF

3

旋片机械泵1

抽速不小于6m ?0?6 /h，关气镇极限分压强：优于5E-4mbar；

电机参数：220V/50Hz。

5

旋片机械泵2

抽速不小于10 m ?0?6 /h，关气镇极限分压强：优于5E-4mbar；

电机参数：220V/50Hz。

2

旋片机械泵3

抽速不小于18 m ?0?6/h，关气镇极限分压强：优于5E-4mbar；

电机参数：220V/50Hz。

4

旋片机械泵4

抽速：不小于80 m ?0?6/h，关气镇极限分压强：优于2E-3mbar；

电机参数：380V/50Hz。带有可移动装置。

2

5

真空变送器控制器

真空变送器控制器及连接线缆1

可用于控制和显示不少于2个真空计，测量范围：2000~1E-11mbar；

可编程输出，显示单位mbar，Torr，Pa等单位可选。

5

真空变送器控制器及连接线缆2

可用于控制和显示不少于6个真空计，测量范围：2000~1E-11mbar；

可编程输出，显示单位mbar，Torr，Pa等单位可选。

5

6

高真空角阀

高真空角阀

连接法兰：DN40；

漏率：优于1E-9mbar·L/s；

运行压力范围：1E-8mbar~5bar。

17

7

超高真空气动插板阀

超高真空气动插板阀

连接法兰：DN40；

阀体漏率：优于1.0E-9mbar·L/s；

运行压力范围：1.0E-10mbar~2bar。

法兰面间距： 35-40mm

3

8

真空隔膜阀

真空隔膜阀

连接法兰： DN25；

漏率：优于1.0E-6mbar·L/s。

2（DN25）

9

真空挡板阀

真空挡板阀

连接法兰：DN40；

阀体漏率：优于1.0E-7mbar·L/s。

4

10

真空配件

密封件

a.配套无氧铜垫圈

b.配套中心支架及中心圈（氟橡胶）

变径

316L，DN40-DN60及宝塔接头

5套

三通

DN40

15

角阀

KF25

2

漏阀

KF16

6

波纹管

DN25

20米

塑筋管

DN60

20米