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泰坦未来高性能碳基/陶瓷基半导体复合材料产业基地-审批信息
信息来源: ******[查看]
|地区:福建
|类型:审批立项
基本信息
信息类型:审批立项
区域:福建
源发布时间:2025-07-02
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工程代码 ZHC******65 中央代码 2506-350205-06-01-806122
项目名称 泰坦未来高性能碳基/陶瓷基半导体复合材料产业基地
项目(法人)单位 ******有限公司 建设性质 新建
建设详细地址 福建省厦门市海沧区翁角路308号
主要建设内容及规模 项目位于北临翁角路,西临海新路,北临阳光路,建筑面积50500.0平方米,用地面积27300.0平方米, 项目总建筑面积:50500㎡,其中新建建筑面积:45500㎡,原有建筑面积5000㎡;总计容面积:75700;用地面积:27300㎡(净地,道路已扣除)。 项目计划总投资10亿元。其中一期采用轻资产模式(租赁厂房5000㎡),预计投资3.5亿元;二期建设高性能碳基/陶瓷基半导体复合材料产业基地,预计投资6.5亿元, 拟建设高性能碳基/陶瓷基半导体复合材料产业基地,通过公司自主研发技术,形成复合涂层(SiC 涂层、TaC 涂层)、实体碳化硅(Solid-SiC)、高端等静压石墨和 C/C 高密复合材料制品等系列产品,主要包括SiC 涂层/TaC 涂层石墨托盘、导电SiC涂层石墨件、SiC/Si外延用石墨套件、半导体设备载具/晶舟、碳化硅刻蚀环等半导体设备核心零部件及耗材。深度融入并应用于半导体全产业链的各个环节,包括且不限于长晶阶段、外延阶段、热处理阶段、刻蚀阶段和离子注入阶段。 项目建成达产后,预计年产值为 20 亿元。其中,一期租赁厂房5000平米,SiC涂层产线设备16台,年产值3.2亿元;TaC涂层产线设备27台,年产值3.3亿元。二期建设高性能碳基/陶瓷基半导体复合材料产业基地,SiC涂层产线设备18台,年产值3.6亿元;TaC涂层产线设备39台,年产值4.7亿元;Solid SiC产线设备15台,年产值4.3亿元;以及一间石墨机加工车间,年产值1.2亿元, 1、快速化学气相沉积技术:突破单一碳源气体快速化学气相沉积技术难题,大幅降低了生产成本。 2、高纯涂层制备技术:采用化学气相沉积技术制备出纯度5ppm的碳化硅涂层或碳涂层,突破高纯涂层制备技术。 3、高性能、低成本先进碳基复合材料产品设计与制备技术:实现产品的快速化制备,成本降低30%以上。 4、大尺寸、形状复杂部件的结构和功能一体化制造技术:突破了特殊部件结构与功能一体化制造,使材料呈现多种性能的有机组合。 5、布网复合针刺技术:突破了形状复杂、厚度大的特殊部件复合技术, 传统缝合技术只能生产薄壁、规则形状部件,项目计划通过“一院”、“一产”的规划建设,打造一个国家级的高性能先进碳基/陶瓷基半导体复合材料成果转化中心(研究院);一个产、学、研融结合的高科技产业基地,从而形成辐射东南、全国的高性能先进碳基/陶瓷基复合材料研发及高端制造产业中心。 该项目建成后将成为国内创新能力强,产学研用结合紧密,创新链和产业链完整的高性能碳基/陶瓷基复合材料创新及成果转化中心;同时,也是功能完善、产业配套齐全、产业模式新颖的先进复合材料产业基地。实现半导体行业核心耗材的“进口替代”、解决“卡脖子”问题,成为半导体-新材料产业“专精特新”标杆项目
项目总投资(万元) 100000(其中土建投资:21047,其他投资:33897,设备及技术投资:45056,进口设备、技术用汇: 0)
拟开工时间 2025-09 拟建成时间 2030-11
符合产业政策的申明 我公司已确认,所备案项目不属于《产业结构调整指导目录》或《外商投资产业指导目录》中的限制类或禁止类项目,不属于我市核准目录中应办理核准的项目。特此声明。
补充说明
备案号 厦海发投备〔2025〕449号 备案日期 2025-07-02
备案机关 ******改革局 备案事项 县级权限内企业境内投资项目备案
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马蜂快照:2025-07-02
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