基本信息：

申购单号：CB************

签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同

申购主题：ALD原子层沉积系统

送货时间：合同签订后7天内送达

******大学

安装要求：免费上门安装（含材料费）

报价要求：国产含税

收货地址：广东省/深圳市/南山区/****

发票类型：增值税专用发票

币种：人民币

预算：******

付款方式：货到验收合格后付款

备注说明：

申购明细：

采购内容：ALD原子层沉积系统

数量：1.0套

预算单价：199980.0

品牌：普迪真空

型号：ALD-T100Q

规格参数：1、真空腔室优质 304 不锈钢真空室，尺寸约为 300mm（宽） × 300mm（深） × 380mm（高）最终以实际设计尺寸为准，内外部电抛光处理；
2、高真空泵：脂润滑分子泵；型号：北京中科科仪 150/700,抽速：700L/S；
3、高阀及限流阀：高真空插板阀；可控限流阀，可控制腔室压力；
4、机械泵：鲍斯真空 BSV24 直联旋片式真空泵（单相），抽速：约 6L/S；
5、真空测量：两低一高数显复合真空计；
6、电控气动粗抽阀、前级阀，电磁放气阀、充气阀；
7、两路进气，采用 Horiba Metron 流量计控制进气，流量计最大流量分别为200/5sccm，2 路气体经过流量计后混合，采用不锈钢电抛光 EP 管及 VCR 接头混合后导入真空室前方靶面进气；
8、1 台 500W 直流电源；1 个凡谷电子自动匹配射频电源，最大输出功率 750W；
9、100*100MM 偏压工件台，转速 0-25RPM 可调节；
10、控制系统采用德国西门子 PLC+德国西门子触摸屏人机界面手自动控制系统，具备完善的安全互锁保护功能；图形可视化操作界面。

质保及售后服务：按行业标准提供服务

附件：